ETH Zürich Foundation, UNISERS

UNISERS

Ali Oezhan Altun

Automatisiertes Analysegerät für hochreine Flüssigkeiten

erunreinigungen in den Prozessflüssigkeiten können Defekte auf den Halbleiterchips verursachen und den Fertigungserfolg verringern. Die Halbleiterindustrie benötigt dringend ein besseres Messsystem zur Überwachung kritischer Verunreinigungen aller Prozessflüssigkeiten wie Reinstwasser (UPW), hochreine Säuren und Lösungsmittel bei Flüssigkeitsfiltrations- und Verteilungssystemen.

UNISERS entwickeln eine vollautomatische Anlage zur Identifizierung und Quantifizierung einer Reihe kritischer Verunreinigungen der Prozessflüssigkeiten mit den erforderlichen Empfindlichkeitsstufen. Eine bessere Verunreinigungsmesstechnik wird der Industrie helfen, den Prozess zu verbessern und Chipfehler zu reduzieren. Eine geringere Fehlerdichte soll zudem die Fertigungsausbeute und die Zuverlässigkeit der gefertigten Chips verbessern.

Mehr zu UNISERS im Video auf ihrer Website.

Ihr Browser (Internet Explorer) ist leider nicht mehr zeitgemäss, dadurch kann es zu Darstellungsfehlern kommen. Bitte installieren Sie einen anderen Browser.

Wie geht das?Ausblenden